氦質(zhì)譜檢漏儀是一種靈敏度很高且常用的檢漏技術(shù)儀器。在真空設(shè)備泄漏情況的檢查之中也有專業(yè)的儀器保證了檢查效果的穩(wěn)定性，而且氦質(zhì)譜檢漏儀的線路檢測(cè)能力得到了更好的提升，該所產(chǎn)品也在我國(guó)具體泄漏問題的解決上帶來了更多的措施，在我國(guó)真空問題的檢查之上這種氦質(zhì)譜檢漏儀憑借著其強(qiáng)大的優(yōu)勢(shì)獲得了更好的應(yīng)用，今天來了解下氦質(zhì)譜檢漏時(shí)的誤差來源有哪些，以便更好地降低或消除測(cè)量誤差。

　　檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括以下幾個(gè)方面：

　　1.氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差；

　　2.進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差；

　　3.所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差；

　　4.氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差；

　　5.校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同；

　　6.檢漏儀的性能不穩(wěn)定；

　　7.氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差；

　　8.后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì)、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。