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標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [4型]
CRYO-U4H

特點(diǎn)

• 輕量、緊湊，在標(biāo)準(zhǔn)品種尺寸小。
• 適用於實(shí)驗(yàn)室研究室的小型真空設(shè)備中。
• 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
• 可以多臺(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）。
• 可以達(dá)到超高真空（10-8Pa以下）。
• 日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?

外形尺寸 (單位:mm)

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?

*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)

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